硝酸铈铵 Ceric Ammonium Nitrate CAS号:16774-21-3 分子式:Ce(NH4)2(NO3)6 电路板腐蚀
电子材料制备:在电子陶瓷的生产中,可作为掺杂剂,改善陶瓷的电学性能,如提高陶瓷的介电常数等。
玻璃着色与脱色:少量添加到玻璃中,可起到着色作用,产生特殊颜色的玻璃;同时,在某些情况下也能用于玻璃的脱色,去除玻璃中的杂质带来的颜色。
硝酸铈铵的优势在于“强氧化性 + 高选择性”,且反应后生成的 Ce³⁺无毒、易分离,广泛应用于以下领域:
半导体晶圆蚀刻:用于硅晶圆、氮化硅(Si₃N₄)薄膜的选择性蚀刻,蚀刻液配方为 “CAN + 硝酸 + 水”,蚀刻速率可控(10~50nm/min),边缘垂直度好,适用于芯片制造中的微细加工。
印刷电路板(PCB)蚀刻:蚀刻铜箔形成电路图案,替代氯化铁蚀刻液,蚀刻后板面光洁,无残留,适用于高密度 PCB 生产。