该产品使用纳米a-Al2O3,制备高纯度、高固含量,低粘度的纳米分散液,其具备优异的分散性和稳定性,颗粒尺寸分布狭窄(100nm-1000nm任意调控),不易二次团聚,可以长期存储稳定无沉淀。
主要应用:芯片抛光、碳化硅晶圆抛光、陶瓷基复合材料浸渍等