作为半导体产业的重要支撑材料之一，对氧化铝材料的技术研发和突破在我国仍较薄弱，国产高端氧化铝材料市场占有率仅有3%-5%。圣华特瓷（北京）科技有限公司（以下简称圣华特瓷）自成立之初就投入大量资金、人力对a相高纯纳米氧化铝粉体进行研发，致力于解决我国在氧化铝新材料领域的“卡脖子”问题。 目前，圣华特瓷已实现年产各类高纯度纳米级a-氧化铝粉体产品超3000吨，建设研发中心1个，生产基地2个。公司产...
化学机械抛光（CMP）是芯片制造过程中实现芯片制造全局均匀平坦化的关键工艺，贯穿于硅片（衬底）、晶圆（IC）制造直至先进封装的整个流程。在这一工艺中，CMP抛...
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